В составе научно-исследовательского комплекса СП ГЭТУ созданы и функционируют следующие специализированные научно-исследовательские центры:

• Центр информационных технологий (ЦИТ)
• Центр параллельных технологий (ЦПТ)
• Центр микротехнологий и диагностики (ЦМИД)
• Центр цифровых сигнальных процессоров (ЦСП)
• Северо-Западный учебно-научный методический центр (СЗ НМЦ)
• Цетр технологий обучения (ЦТО)
• Международный центр обучения (МЦО)
• Региональный центр научно-технической экспертизы (РЦНТЭ)

ЦЕНТР МИКРОТЕХНОЛОГИИ И ДИАГНОСТИКИ

Научно-учебный центр микротехнологии и диагностики (ЦМИД) создан для проведения научных исследований и подготовки кадров по следующим направлениям:

- новые материалы и элементы микро- и оптоэлектроники;

- аппаратура и процессы микро- и нанотехнологии;

- аппаратура и методы субмикронной и атомно-молекулярной диагностики.

В настоящее время предметом научных исследований ЦМИД являются:

- материалы (карбид кремния, нитрид алюминия, алмазоподобный углерод) и их композиции для экстремальной электроники;

- нетрадиционные материалы для молекулярной электроники и биосенсорики (кристаллы, пленки и монослои биоорганических веществ);

- методы атомно-молекулярной инженерии (получение моно- и мультимолекулярных слоев по методике Ленгмюра-Блоджетт, атомно-силовая и туннельная микроскопия);

- методы субмикронной диагностики (растровая и просвечивающая электронная микроскопия, электронография, Оже-спектроскопия, лазерная масс-спектрометрия);

- сенсоры для экстремальных условий эксплуатации (высокие температуры, агрессивные среды, радиация) и контроля состояния среды обитания человека (температура, давление, ультрафиолетовое излучение, влажность).

Существенными результатами, полученными сотрудниками центра за время его существования, являются:

- разработка, создание и участие в организации серийного производства первого советского электронно-лучевого тестера интегральных схем РЭМ-102Э совместно с Сумским ПО "Электрон" (1987);

- разработка, создание и участие в организации серийного производства первого советского полностью автоматизированного просвечивающего электронного микроскопа ПЭМ-100 совместно с Сумским ПО "Электрон" (1989);

- разработка теории и реализация процесса матричного синтеза в условиях объектов неорганической природы (синтез редких структурных модификаций карбида кремния и нитрида алюминия) (1991);

- синтез ранее неизвестных веществ - аналогов фосфолипидов, являющихся основой биологических мембран в монокристаллическом твердом состоянии (1992);

- разработка концепции элементной базы молекулярной электроники на основе биоорганических молекулярных систем с ионно-водородными связями (1993);

- постановка методов атомно-молекулярной инженерии (получение и исследование молекулярно-упорядоченных моно- и мультислоев биоорганических веществ) (1994);

- искусственный матричный синтез моно- и гетерослойных молекулярных композиций для биосенсорики (1995).

ЦМИД выполняет функцию базового подразделения ЭТУ по организации и реализации межвузовской научно-технической программы "Научное приборостроение". В течение ряда лет ЦМИД совместно с кафедрами автоматики и процессов управления, микроэлектроники, микроэлектроники и технологии радиоаппаратуры, электронно-ионной и вакуумной технологии участвовал в работах по созданию новых материалов и оборудования для микротехнологии. Предметом совместных исследований являются: карбид кремния, высокотемпературные сверхпроводники, электронорезисты, оборудование для ионно-плазменной технологии.

Совместно с кафедрой микроэлектроники сотрудники ЦМИД участвуют в реализации гранта, полученного от INTAS, по проблеме "Применение карбида кремния в микроэлектронике" и международного проекта "Полупроводниковый карбид кремния для нового поколения радиационно-устойчивой и высокотемпературной электроники".

По согласованию с кафедрами автоматики и процессов управления, микроэлектроники, электронноионной и вакуумной технологии для студентов старших курсов ЦМИД проводит ряд специализированных лабораторных работ по двум циклам: "Микротехнология" и "Субмикронная диагностика".

Центр постоянно взаимодействует с рядом высших учебных заведений и фирм Западной Европы и США: Бундес университетом (ФРГ); университетом г. Линчепинга и корпорацией АВВ (Швеция); фирмами "Вестингауз" и "Сандия" (США).

Предлагается использование экспериментальной базы ЦМИД для подготовки специалистов других вузов.

ЦМИД размещен в комплексе гермоблока ЭТУ, в котором функционирует специализированная технологическая зона. В состав зоны входят помещения с классом чистоты 100, позволяющие осуществлять изготовление гибридно- пленочных, полузаказных полупроводниковых микросхем и датчиков.

Коллектив центра состоит из научно-учебного (30 научных сотрудников и инженеров) и вспомогательного (8-10 рабочих) персонала, преподавателей и аспирантов, выполняющих научные исследования и реализующих учебный процесс на базе ЦМИД, а также студентов старших курсов и дипломников (40 человек). В центре постоянно работают более 15 кандидатов наук, специализирующихся в области физики и технологии твердого тела.